秽迹金刚相关典籍最早是从唐代‧阿地瞿多于公元652到654所翻译的《佛说陀罗尼集经‧卷九‧金刚乌枢沙摩法》开始，后来唐‧代阿质达霰(公元732年间)译出《秽迹金刚禁百变法经》、《秽迹金刚说神通大满陀罗尼法术灵要门》和《大威力乌枢瑟摩明王经》后，「秽迹金刚法」即开始盛行于世。
自「会昌法难」后，唐代密法转以秘密方式流传于各佛寺之间，而秽迹金刚更与禅宗有大因缘，历代祖师多秘密修持秽迹金刚法。自译出《秽迹金刚》经典起算，下列为秽迹金刚法诸祖师大德的相关事迹纪录摘要：
唐‧雪峰 义存禅师传秽迹金刚法
唐‧印度「中观派」僧寂天法师用秽迹金刚法降伏外道
唐‧慧持大师持秽迹金刚法相应，令金刚杵飞空
唐末‧永明延寿以秽迹金刚咒为日课
北宋‧天台宗十七祖四明 知礼大师将秽迹金刚咒列入放生仪轨中
南宋‧显超大师持秽迹金刚咒利益众生，往生西方
北宋‧妈祖林默娘依止秽迹金刚法修得神力
南宋‧格鲁派黄教宗师热罗上师多吉扎亲见「秽迹金刚」
元‧管主八(广福大师)作秽迹金刚法偈颂，广为流通
明‧莲池大师编《诸经日诵》将秽迹金刚咒列入
明‧方念大师每日课诵秽迹金刚咒千余遍
明‧性福大师持秽迹金刚咒证得肉身不坏
明‧憨山大师教授秽迹金刚咒治愈颠狂僧
清‧沈善登居士提金刚部以秽迹金刚咒为总持
清‧《禅门日诵》本收录秽迹金刚咒
清末民初‧杨仁山居士劝持秽迹金刚咒
民国‧海灯大师为万佛圣城宣化上人弟子传授秽迹金刚咒
民国‧唐密秽迹金刚传承上师宝霞法师传授秽迹金刚咒
民国‧慧三大师广为传授秽迹金刚神咒
